名 称：真空等离子表面处理机
技术参数：
1、 输入电源：AC380V
2、 整机规格：700mm（W）×700 mm(D) ×1600 mm（H）
3、 腔体规格：225mm（W）×230 mm(D) ×245 mm（H）
4、 腔体容积：12.5L
5、 电极规格：内置平板式电极
6、 载物规格：4层，214mm×225mm
7、 电源系统：RF射频等离子发生源，全自动阻抗匹配
8、 控制系统：触摸屏+PLC自动控制
9、 真空系统：背底真空度<5Pa,工作真空度5-100 Pa内连续可调
10、进气系统：2路工作气体、1路放空、1路接枝
设备特点：
TFR02-PL-5100Z定位为工业生产型等离子表面处理设备，其特点是腔体精致，精度高，响应快，操控性和兼容性好，功能完善，可调参数齐全，完美契合科研机构和公司的初期实验和少量生产需要。
设备功能：
TFR02-PL-5100Z适用于各种材料的表面改性处理
1、表面清洗：粘接、锡焊、电镀前的表面预处理;
2、表面活化：生物材料的表面修饰，印刷涂布或粘接前的表面处理;
3、表面刻蚀：硅的微细加工，聚四氟乙烯的表面刻蚀处理;
4、表面接枝：材料表面特定基团的产生和表面活化的固定;
5、表面沉积：疏水性或亲水性层的等离子体聚合沉积;
应用领域：
太阳能
电池衬底的清洗
微米级别的不锈钢衬底必须达到高度的洁净度才能用于太阳能电池，通过等离子处理是最理想的解决方案。
电池隔膜的侵润度提高
通过等离子处理，可以使隔膜能够被电池所用的电解液完全侵润，从而保证电池的内阻不是太大。
生物医疗
培养皿和培养板
通过等离子处理能够增加培养皿和培养板的亲水性，并且通过接枝，特定亲水基团能够很好的配合后续培养细胞。
生物导管
微创医学用的导管需要覆盖一种特殊涂层，为了减小导管与人体的排异性，通过等离子处理能够增加涂层与导管的结合力，确保使用安全。
移液器吸头
通过等离子处理，可增加移液器吸头的疏水性和输油性，从而提高移液速度和精确度。
等离子灭菌
通过低温等离子处理可消灭所有微生物，有效解决医疗器械不耐高温的及医用材料的生物相容性问题。 |
