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射流低温等离子处理机 TFR-BSP-A
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整机规格： 1620mm(W)×1000mm(D)×1760mm(H) |
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电极规格： 10层平板式电极板（550mm×460mm） |
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电源系统： 13.56MHz等离子体发生源（1KW，全自动阻抗匹配） |
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控制系统： 触摸屏+PLC自动控制 |
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进气系统： 2-5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
柜体组合式系统机可处理面宽30CM-50CM，装有故障报警系统和检测信号输出，等离子能量大等特点
特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。
用途：适用于LED、LCD、SMT领域，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业等。
★LED、LCD、SMT领域：LED打线、IC封装前的清洗，LCD制造工艺中清洗偏光片、
排线基位，电子元器件、光学元器件表面的清洗。
★硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。 |
