射流低温等离子处理机 TFR02-PT909
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整机规格： 1320mm(W)×1000mm(D)×1720mm(H)
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电极规格： 8层平板式电极板（420mm×360mm）
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电源系统： 13.56MHz等离子体发生源（500W，全自动阻抗匹配）
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控制系统： 触摸屏+PLC自动控制
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进气系统： 2-5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
PLC人机界面全自动控制，双脉冲二次逆变高频发生系统，可设置速度功率匹配范围、喷头工作压力、自动启动速度值、低速保护值等、气压PID自动调节控制
特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。
用途：适用于LED、LCD、SMT领域，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业等。
★LED、LCD、SMT领域：LED打线、IC封装前的清洗，LCD制造工艺中清洗偏光片、
排线基位，电子元器件、光学元器件表面的清洗。
★硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。 |
